Национальная Физическая Лаборатория предпочла российскую разработку для электронной литографии

Компания Interface Ltd. произвела поставку и установку программно-аппаратного комплекса NanoMaker в Национальную Физическую Лабораторию стандартизации (NPL) Великобритании. Программно-аппаратный комплекс NanoMaker предназначен для проектирования, подготовки данных, а также  создания 2D и 3D структур методами электронной литографии на базе растровых электронных микроскопов. Установка была произведена на микроскопе Hitachi S-4000 SEM с целью преобразования существующего микроскопа в литографическую систему.
 
Выбор NPL определил тот факт, что по своим функциональным возможностям и удобству интерфейса NanoMaker превосходит имеющиеся зарубежные аналоги. Программно-аппаратный комплекс NanoMaker позволяет пользователю иметь интуитивно понятный графический интерфейс для создания и проектирования структур, осуществлять моделирование проявления резиста, учитывать коррекцию эффекта близости для плоских и трехмерных структур, рассчитывать компенсацию статических искажений отклоняющей системы, измерять и активно подавлять динамические ошибки отклоняющей системы пучка. NanoMaker позволяет также осуществлять дизайн и моделирование таких сложных структур как голограммы и киноформная оптика, а также работать с дозовыми кривыми резистов для трехмерных структур. В стандартные функции NanoMaker включены функции работы со столом, снятия изображения, возможности "врисовывания" в существующие структуры с высокой степенью точности. Предоставляется возможность работы со снятым изображением: осуществлять сглаживание изображения, просматривать поперечное сечение, наносить метки масштаба и надписи.